Realizzazione di uno strumento SIMS "Home Made"

Terminata la costruzione del SIMS Home Made che prevedeva la realizzazione e messa a punto di uno strumento SIMS realizzato utilizzando singoli componenti presenti in IFP. Tale esigenza nasce dalla necessità di dotare l’IFP di strumentazione per analisi di superficie di campioni considerando la partecipazione dell’istituto al programma europeo EFDAPWI, al progetto DANTE, e ad altri progetti che prevedono la caratterizzazione in superficie e profili di profondità di campioni depositati o sottoposti a processi al plasma. Poiché le presenti dotazioni di fondi non consentono spese per l’acquisto di uno strumento SIMS commerciale, si è optato per uno strumento di tipo “Home Made” che non ha le pretese di avere le prestazioni di uno strumento commerciale ma che consente al contempo di eseguire misure SIMS.